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電子級二乙烯三胺五甲叉膦酸DTPMPA

Electronic Grade Diethylene Triamine Penta (Methylene Phosphonic Acid) (DTPMPA)

一、性能與用途

電子級DTPMPA具有很強(qiáng)的金屬離子螯合能力，在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。

二、技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)  目 指  標(biāo)
外 觀 棕黃色或棕紅色粘稠液體
活性組分/% ≥50.0
單金屬離子/ppb <1000ppb（可根據(jù)客戶需求定制）

三、包裝與貯存

電子級DTPMPA用電子級塑料桶包裝，每桶25kg、200kg，可根據(jù)客戶需求定制。貯于室內(nèi)陰涼處，貯存期為十二個(gè)月。

四、安全與防護(hù)

電子級DTPMPA為酸性液體，操作時(shí)注意勞動(dòng)防護(hù)，應(yīng)避免與皮膚眼睛等接觸，接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。